摘要：富通喜力變螺距干式羅桿真空泵，設(shè)計(jì)緊湊，運(yùn)行高效。最顯著的特點(diǎn)是無需密封液，螺桿與軸一體加工，從而避免了密封液對(duì)介質(zhì)的污染。它與傳統(tǒng)的等螺距設(shè)計(jì)不同，而是采用了專利的可變螺距設(shè)計(jì)，可節(jié)省30%的能量不銹鋼真空泵介紹、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)及典型應(yīng)用（注釋：不銹鋼真空泵）　　一、不銹鋼真空泵介紹　　富通喜力變螺距干式羅桿真空泵，設(shè)計(jì)緊湊，運(yùn)行高效。最顯著的特點(diǎn)是無需密封液，螺桿與軸一體加工，從而避免了密封液對(duì)介質(zhì)的污染。它與傳統(tǒng)的等螺距設(shè)計(jì)不同，而是采用了專利的可變螺距設(shè)計(jì)，可節(jié)省30%的能量，氣體排放溫度更低，從而無須冷卻凈化。FDP泵可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr(1.3mbara)，而其極限真空可達(dá)0.005Torr。FVP系列結(jié)構(gòu)緊湊，高效節(jié)能的螺桿式真空泵。該泵的最大特點(diǎn)是螺桿變螺距設(shè)計(jì)，該泵比其他競(jìng)爭(zhēng)者的干泵節(jié)能達(dá)30%以上，排出的氣體溫度也更低。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全無水無油，直通氣路設(shè)計(jì)，HEILI泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體　　二、不銹鋼真空泵結(jié)構(gòu)特點(diǎn)　　不銹鋼真空泵，異形螺桿真空泵與HEILI等距干式螺桿真空泵。泵是臥式結(jié)構(gòu)。螺桿轉(zhuǎn)子呈中空形，為懸臂支承結(jié)構(gòu)。同步傳動(dòng)齒輪位于軸承支座下面。變頻電機(jī)通過聯(lián)軸節(jié)與主動(dòng)轉(zhuǎn)子連接。該泵的氣體路徑較短，且立式結(jié)構(gòu)對(duì)排除含微塵氣體較為有利?！　VP干式螺桿真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)泵腔內(nèi)完全無水無油，由于是直通氣路設(shè)計(jì)，F(xiàn)DP和FVPFHVP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體。由于泵腔內(nèi)沒有金屬與金屬間的接觸，磨損也就大大減少了。HEILI真空泵FDPFVP和FHVP干式螺桿泵都是水冷系統(tǒng).　　三、不銹鋼真空泵的典型應(yīng)用：　　?低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中　　?半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒　　?除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求　　?在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵　　?用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染　　?化學(xué)和醫(yī)藥流程　　?溶劑回收　　?成型　　?結(jié)晶　　?干刻　　?濺鍍　　?蒸氣回收>　　五、不銹鋼真空泵特點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)　　不銹鋼真空泵是等螺距設(shè)計(jì)，可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr(1.3mbara)，極限真空可達(dá)0.005Torr(0.008mbara)在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中沒有油或水，泵腔無部分接觸，簡(jiǎn)單，堅(jiān)固的設(shè)計(jì)可以處理工作中的副產(chǎn)品一液體，冷凝物，甚至小顆粒，短氣通道可以使泵迅速排放，直接驅(qū)動(dòng)或V皮帶有加長(zhǎng)的轉(zhuǎn)子，操作安靜----低于85分貝。干式螺桿真空泵腔內(nèi)完全水無油，直通氣路設(shè)計(jì)，F(xiàn)DP泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會(huì)殘留在泵內(nèi)的氣體。主要特點(diǎn)：　　螺桿轉(zhuǎn)子一體加工　　沒有油或水和過程氣體接觸　　運(yùn)行部件之間無金屬相互接觸　　簡(jiǎn)單緊固的設(shè)計(jì)可以處理工作時(shí)產(chǎn)生的副產(chǎn)品——液體，冷凝物甚至微小顆?！　」?jié)省空間的C型發(fā)動(dòng)機(jī)設(shè)計(jì)除去了連軸器和防護(hù)裝置的需要　　泵內(nèi)氣通道較短，氣體排放更迅速　　即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)