[]“滑閥式真空泵的抽氣原理與片泵相似,當兩者結構不同?；y式真空泵是利用滑閥機構來改變西氣腔容積的,故稱華發(fā)泵。”華發(fā)泵雖然是一種老泵,但與旋片泵等比較,它具有允許工作壓力高(104pa)、抽氣量大、能在惡劣環(huán)境下連續(xù)工作,經久耐用等突出特點,所以在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等行業(yè)得到廣泛的應用。目前真空行業(yè)中廣泛使用的油封式真空泵大多是中、小型的選片泵和中、大型的華發(fā)泵。旋片泵在較臟的工作條件下,旋片泵在轉子槽中卡住。盡管華發(fā)泵對這一缺點有一定程度的克服,但由于滑閥的質心相對回轉中心的距離不是定值,雖然結構上采取了一些平衡措施,但尚不能達到完全平衡,故振動難以完成消除。尤其泵的容量越大,振動亦更大。同時上述兩種泵,特別是滑閥泵與其排氣量相比外形尺寸顯得較大。