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解析鈦泵的優(yōu)點(diǎn)

解析鈦泵的優(yōu)點(diǎn)
時(shí)間:2014-09-03
為了保證沿離子束(中性束)傳輸路程上的高真空條件,大部分氣量需要由真空抽氣系統(tǒng)抽走。由于氣量較大,而且要求的工作真空度較高,所以該束線的真空系統(tǒng)將需要很大的抽速。目前,在中性束注入器上使用的大抽速真空泵主要有兩種,一種是低溫泵,一種是鈦泵。與低溫泵相比,鈦泵有造價(jià)低、結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠、沒有磁場(chǎng)和高速轉(zhuǎn)動(dòng)的機(jī)械部分、操作方便、易于維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)?;贖L-1MNBI大抽速真空系統(tǒng)中鈦泵的有效使用,以及ASDEX,束線上鈦吸附泵的成功經(jīng)驗(yàn),我們擬采用水冷的鈦泵作為快泵。鈦泵由兩組主泵和一組次泵組成,其排列位置如。鈦吸附泵主要由鈦升華器和吸附器兩大部分組成,本文將主要從這兩方面介紹我們的設(shè)計(jì)和計(jì)算過程。根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求,兩個(gè)真空室的兩組鈦泵的抽速要求分別為8.0×105L/s和1.5×105L/s。如果氣體壓強(qiáng)很低(氣體分子數(shù)遠(yuǎn)小于蒸著的鈦分子數(shù)),鈦蒸著率足夠高,即使再增大比蒸著率,所捕獲的分子數(shù)也不再增加,此時(shí)的粘著系數(shù)達(dá)到最大值并稱為“本征粘著系數(shù)”。它在一定范圍內(nèi)與比蒸著率無關(guān),是表征新鮮鈦膜吸氣特征的一個(gè)重要物理量。對(duì)于H2,液氮冷卻下的e比水冷的室溫下的要大幾倍,但從造價(jià)低和操

為了保證沿離子束(中性束)傳輸路程上的高真空條件,大部分氣量需要由真空抽氣系統(tǒng)抽走。由于氣量較大,而且要求的工作真空度較高,所以該束線的真空系統(tǒng)將需要很大的抽速。目前,在中性束注入器上使用的大抽速真空泵主要有兩種,一種是低溫泵,一種是鈦泵。與低溫泵相比,鈦泵有造價(jià)低、結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠、沒有磁場(chǎng)和高速轉(zhuǎn)動(dòng)的機(jī)械部分、操作方便、易于維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。

基于HL-1MNBI大抽速真空系統(tǒng)中鈦泵的有效使用,以及ASDEX,束線上鈦吸附泵的成功經(jīng)驗(yàn),我們擬采用水冷的鈦泵作為快泵。鈦泵由兩組主泵和一組次泵組成,其排列位置如。 鈦吸附泵主要由鈦升華器和吸附器兩大部分組成,本文將主要從這兩方面介紹我們的設(shè)計(jì)和計(jì)算過程。根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求,兩個(gè)真空室的兩組鈦泵的抽速要求分別為8.0×105L/s和1.5×105L/s。如果氣體壓強(qiáng)很低(氣體分子數(shù)遠(yuǎn)小于蒸著的鈦分子數(shù)),鈦蒸著率足夠高,即使再增大比蒸著率,所捕獲的分子數(shù)也不再增加,此時(shí)的粘著系數(shù)達(dá)到最大值并稱為“本征粘著系數(shù)”。

它在一定范圍內(nèi)與比蒸著率無關(guān),是表征新鮮鈦膜吸氣特征的一個(gè)重要物理量。對(duì)于H2,液氮冷卻下的e比水冷的室溫下的要大幾倍,但從造價(jià)低和操作方便考慮,選用水冷。根據(jù)以往相關(guān)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示,室溫下鈦表面對(duì)氫的抽速為1~1.5L/scm2,我們按1.1L/scm2設(shè)計(jì)。

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